ICF70XY機械軸XY-70/70-40-10真空光學代理

ICF70XY機械軸XY-70/70-40-10真空光學代理

ICF70XY機械軸XY-70/70-40-10

規(guī)格:

X?Y平行移動：±10mm

精度刻度：0.01m/1div

安裝法蘭：ICF70

玫瑰內(nèi)徑：40mm

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下

X機械軸

X-70/70-M

規(guī)格

X方向移動：±12.5mm（線程馬達驅(qū)動）、法蘭面間110mm、分辨率0.04μm/pulse、帶限位開關

安裝法蘭：基座法蘭ICF70FH、移動法蘭ICF70FT

焊接貝羅：外徑φ60mm內(nèi)徑φ使用40mm

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下

回轉(zhuǎn)導入機KMMR-34

本產(chǎn)品是可用于導入真空中安裝的機器的旋轉(zhuǎn)運動的超高真空區(qū)域的旋轉(zhuǎn)導入機。

規(guī)格

連接法蘭：ICF34

前端軸直徑：6mm

引進軸長度：法蘭面～35L

容許扭矩：4kg/f（磁耦合）

重量：0.55kg

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下

回轉(zhuǎn)導入機VBR-70

規(guī)格

使用焊接回流10 deg/1刻度

傳遞扭矩2N?m手動

連接法蘭ICF70FH

旋轉(zhuǎn)棒φ8（SUS304）帶限位器

約820g

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下