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胡經(jīng)理

銷售AsahiSpectra朝日分光、光學(xué)式膜厚計(jì)

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光學(xué)式膜厚計(jì)OMD-1000

自動(dòng)濾光器 FC8-25A、FC32-25A

測量原理如下：在測量的wafer或glass上面的薄膜上垂直照射可視光，這時(shí)光的一部分在膜的表面反射，另一部分透進(jìn)薄膜，然后在膜與底層 (wafer或glass)之間的界面反射。這時(shí)薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光產(chǎn)生干涉現(xiàn)象。SpectraThick series就是利用這種干涉現(xiàn)象來測量薄膜厚度的儀器。

以前的機(jī)型的波長選擇是過濾式，但是新產(chǎn)品在本公司加入有實(shí)績的分光器，可以選擇任意的波長。膜厚變化的信號從電壓輸出到電腦對應(yīng)的數(shù)字輸出，控制機(jī)構(gòu)從手冊操作成為通過電腦的命令控制。另外，通過I / F直接與電腦直接連接膜厚計(jì)，并沒有其他制造商的控制器等，是非常緊湊的系統(tǒng)。

特長

• 分光器搭載のコンパクトな設(shè)計(jì)
• 耐ノイズ性の向上により、信頼性の高い膜厚監(jiān)視を?qū)g現(xiàn)(靜電気放電試験耐圧 ±5kV)
• PCからのコマンドにより自動(dòng)制御可能
• コントローラーを受光器本體に內(nèi)蔵したことにより、高いコストパフォーマンスを?qū)g現(xiàn)

本體構(gòu)成と配線